（交付現(xiàn)場(chǎng)）

（控溫模塊設(shè)置）

（分模塊專(zhuān)項(xiàng)培訓(xùn)）

南京理工大學(xué)高低溫真空探針臺(tái)安裝交付

產(chǎn)品核心指標(biāo)：

實(shí)測(cè)真空度：<1pa（達(dá)0.17pa@機(jī)械泵)；

控溫范圍：-140℃~600℃；

控溫精度：±1℃；

溫度均勻性：±3℃；

探針位移定位精度2um，分辨率3um，單軸直線度±2um；

漏電精度：100fA；

樣品臺(tái)：4英寸紫銅材質(zhì)樣品臺(tái)，平面度5um；

真空腔體：直徑8英寸，高度7英寸的304材質(zhì)真空室；

CCD采用USB連接電腦，分辨率2um，2000萬(wàn)像素，可拍照錄像；

精密氣浮式隔振底臺(tái)，合資品牌低噪音抽真空機(jī)械泵。