（交付現(xiàn)場）
（控溫模塊設(shè)置）
（分模塊專項培訓(xùn)）
南京理工大學(xué)高低溫真空探針臺安裝交付
產(chǎn)品核心指標(biāo)：
實測真空度：<1pa（達(dá)0.17pa@機(jī)械泵)；
控溫范圍：-140℃~600℃；
控溫精度：±1℃；
溫度均勻性：±3℃；
探針位移定位精度2um，分辨率3um，單軸直線度±2um；
漏電精度：100fA；
樣品臺：4英寸紫銅材質(zhì)樣品臺，平面度5um；
真空腔體：直徑8英寸，高度7英寸的304材質(zhì)真空室；
CCD采用USB連接電腦，分辨率2um，2000萬像素，可拍照錄像；
精密氣浮式隔振底臺，合資品牌低噪音抽真空機(jī)械泵。