南京大學(xué) 基礎(chǔ)型組合式探針臺 交付驗收
核心指標(biāo)：
底部蜂窩隔振面包板，有效隔絕Z軸向微振；
中間三維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程100mm，Z軸行程10mm，整體分辨率3um，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊；
探針座整體調(diào)節(jié)精度達(dá)10um，測量范圍10pA-10A，XYZ行程13mm;
4英寸樣品臺，3個吸附孔，標(biāo)配真空無油泵，可引出背電極；
標(biāo)配進(jìn)口鎢鋼探針，可測電流范圍1fA-1A。