南京大學 TLRHP系列精密型基礎測試探針臺 交付驗收
核心指標：
真空卡盤直徑：4英寸
樣品臺位移精度：<3um
探針座位移精度：<3um
漏電流精度：<100fA
兼容多種光學顯微鏡，可外引光路實現光電mapping測試
是半導體材料或器件電學測試的理想選擇。
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