南京大學(xué) TLRHP系列精密型基礎(chǔ)測試探針臺 交付驗收
核心指標(biāo)：
真空卡盤直徑：4英寸
樣品臺位移精度：<3um
探針座位移精度：<3um
漏電流精度：<100fA
兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試
是半導(dǎo)體材料或器件電學(xué)測試的理想選擇。
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