南昌某國際級研究中心 TLRH系列精密型基礎測試探針臺 交付驗收
核心指標:
真空卡盤直徑:8英寸
樣品臺位移精度:<3um
探針座位移精度:<3um
漏電流精度:<100fA
兼容多種光學顯微鏡,可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試
是半導體材料或器件電學測試的理想選擇。
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