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南京工業(yè)大學(xué) 精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)順利交付
發(fā)表時(shí)間：2023-10-20     閱讀次數(shù)：    



南京工業(yè)大學(xué) TLRH系列精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái) 交付驗(yàn)收

核心指標(biāo)：

真空卡盤(pán)直徑：4英寸

樣品臺(tái)位移精度：<3μm

探針座位移精度：<3μm

漏電流精度：<100fA

兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試

是半導(dǎo)體材料或器件電學(xué)測(cè)試的理想選擇。
 
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