上海某前沿科創(chuàng)企業(yè) TLRB系列標(biāo)準型基礎(chǔ)測試探針臺 交付驗收
核心指標(biāo)：
真空吸附卡盤：6英寸
樣品臺位移精度：<10μm
探針座位移精度：<3μm
漏電流精度：<10pA
兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試
是半導(dǎo)體材料或器件電學(xué)測試的理想選擇。
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