浙江某研究所 直流探針臺、射頻恒溫加熱探針臺、金相顯微鏡 驗收交付

設(shè)備一：

TLRH-06型直流精密型基礎(chǔ)測試探針臺：

真空吸附卡盤：6英寸

樣品臺位移精度：<3μm

探針座位移精度：<3μm

漏電流精度：<100fA

探針座數(shù)量：5個

配置雙目體式顯微鏡，電磁屏蔽箱。

設(shè)備二：

LVHT-06型恒溫加熱射頻探針臺：

真空吸附卡盤：6英寸

PID溫控器，最高加熱溫度可達(dá)300℃，控溫精度±0.1℃，有效區(qū)域均勻性±5℃

0.7μm高精度射頻探針座*2

配置進(jìn)口三豐高精度金相顯微鏡，4個長工作距離物鏡（5X 10X 20X 50X）。

設(shè)備三：

正置透反射金相顯微鏡：

高眼點大視野平場目鏡10X/22mm

金相物鏡：

10X，N.A0.3，WD12.2mm

20X，N.A0.45，WD4mm

50X，N.A0.55，WD7.9mm

100X，N.A0.8，WD2.15mm

光學(xué)分辨率高達(dá)0.2μm@100X物鏡

可拓展微分干涉模塊，三維浮雕觀測

630萬像素高清彩色相機，圖像采集分析軟件。

是半導(dǎo)體材料或器件觀察及電學(xué)測試的理想選擇。