東南大學 3套TLRH系列精密型基礎測試探針臺及電磁屏蔽箱 驗收交付
TLRH型精密型基礎測試探針臺：
真空吸附卡盤：4/6英寸
樣品臺位移精度：<3μm
探針座位移精度：<3μm
漏電流精度：<100fA
探針座數(shù)量：3/3/4個
電磁屏蔽箱一套
配置三目體式顯微鏡，整體二維精密調節(jié)
鎢鋼鍍金探針
半導體光電器件等高精度電學測試的理想之選。
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