中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 LET-S高分辨電動二維材料轉(zhuǎn)移平臺 安裝交付

核心指標(biāo)：

LET-S高分辨電動二維材料轉(zhuǎn)移平臺：

樣品臺/襯底載物臺：四維電控調(diào)節(jié)（XYZR），五相步進(jìn)驅(qū)動，位移調(diào)節(jié)精度高達(dá)1μm；

上位機及運控手柄操作，精密脈沖數(shù)位移調(diào)節(jié)，位移精度高，適用于手套箱等不易手動操作場景；

加熱臺：室溫至200℃可調(diào)，PID控制，精度高達(dá)±0.1℃，加熱速度快，配制冷模塊，滿足短時間多次樣品轉(zhuǎn)移需求；

顯微觀察：高分辨金相顯微鏡，配置多倍率復(fù)消色差長工作距離物鏡（5X,20X,50X，其他可選），成像清晰穩(wěn)定；

電控集成：多模塊集成，面板可視化一鍵操作，提高轉(zhuǎn)移效率；

定制化夾具，滿足多種材料轉(zhuǎn)移場景需要。

產(chǎn)品應(yīng)用：

單層二維材料襯底轉(zhuǎn)移、魔角超導(dǎo)、范德華異質(zhì)結(jié)制備、異質(zhì)結(jié)空間反演對稱性破缺、二維材料堆疊等。

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