中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 LET-S高分辨電動二維材料轉移平臺 安裝交付

核心指標：

LET-S高分辨電動二維材料轉移平臺：

樣品臺/襯底載物臺：四維電控調節(jié)（XYZR），五相步進驅動，位移調節(jié)精度高達1μm；

上位機及運控手柄操作，精密脈沖數位移調節(jié)，位移精度高，適用于手套箱等不易手動操作場景；

加熱臺：室溫至200℃可調，PID控制，精度高達±0.1℃，加熱速度快，配制冷模塊，滿足短時間多次樣品轉移需求；

顯微觀察：高分辨金相顯微鏡，配置多倍率復消色差長工作距離物鏡（5X,20X,50X，其他可選），成像清晰穩(wěn)定；

電控集成：多模塊集成，面板可視化一鍵操作，提高轉移效率；

定制化夾具，滿足多種材料轉移場景需要。

產品應用：

單層二維材料襯底轉移、魔角超導、范德華異質結制備、異質結空間反演對稱性破缺、二維材料堆疊等。

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