國防科技大學(xué) TLRH系列4英寸精密型基礎(chǔ)測試探針臺(tái) 驗(yàn)收交付
TLRH系列精密型基礎(chǔ)測試探針臺(tái)：
真空吸附卡盤：4英寸
樣品臺(tái)位移精度：<3μm
探針座位移精度：<3μm
漏電流精度：<10pA
探針座數(shù)量：4個(gè)3μm同軸針座
配置三目體式顯微鏡，整體二維精密調(diào)節(jié)
鎢鋼鍍金探針
半導(dǎo)體光電器件等高精度電學(xué)測試的理想之選。
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