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文章使用產(chǎn)品：探針臺(tái)、2450Keithley數(shù)字源表 如需了解更多光帶你產(chǎn)品可查看：譜量商城 一、測試系統(tǒng)組成與連接 一套完整的三端器件測試系統(tǒng)主要包括以下部分：
| 系統(tǒng)組件 | 推薦型號(hào)/類型 | 說明 | | 源表 (SMU) | 兩臺(tái) Keithley 2450 | 一臺(tái)用于柵極（基極）偏置，另一臺(tái)用于漏極（集電極）偏置及測量。 | | 探針臺(tái) | TLRH 探針臺(tái) | 建議選擇具備至少三組探針、分辨率可達(dá)0.7μm的探針臺(tái)，以確保精準(zhǔn)接觸。 | | 連接電纜 | 三同軸電纜或低噪聲線纜 | 例如 Keithley 7078-TRX-10，用于連接源表與探針臺(tái)，減少噪聲干擾。 | | 上位機(jī)軟件 | Kickstart | 用于控制源表、數(shù)據(jù)采集和圖形化顯示，支持 LAN/USB/GPIB 連接。 | | 夾具與適配器 | 三通適配器 | 例如 237-TRX-T 型三通，用于Force LO 端的共接。 |
二、測試三端器件（以 MOSFET 為例）時(shí)，兩臺(tái) Keithley 2450 的典型連接方式如下： （1）SMU #1：Force HI 連接 MOSFET 的柵極 (Gate)，F(xiàn)orce LO 與 SMU #2 的 Force LO 以及器件的源極 (Source) 共接（通常通過三通適配器實(shí)現(xiàn)）。 （2）SMU #2：Force HI 連接 MOSFET 的漏極 (Drain)，F(xiàn)orce LO 與 SMU #1 的 Force LO 以及器件的源極 (Source) 共接。 （3）探針臺(tái)：負(fù)責(zé)固定芯片或器件，并引導(dǎo)探針精準(zhǔn)落在器件的三個(gè)端口上。 三、下面的流程圖描繪了典型的連接與配置過程： 
雙2450Keithley數(shù)字源表連接探針臺(tái)連接示意圖 
雙2450Keithley數(shù)字源表與MOSFET連接示意圖 四、測試步驟與配置 1、儀器配置： （1）SMU #1（柵極控制）：設(shè)置為電壓源模式，輸出一個(gè)掃描電壓（例如 0V 到 10V），并設(shè)置合適的電流限制（例如 100mA）以防止器件損壞。 （2）SMU #2（漏極控制）：也設(shè)置為電壓源模式，用于輸出不同的固定電壓（例如 0.1V, 0.5V, 1V）或進(jìn)行電壓掃描；或者根據(jù)需要設(shè)置為電流源模式。同樣需要設(shè)置適當(dāng)?shù)?span style="font-weight: bold;">限制值（電流或功率）。 （3）連接設(shè)置：為確保安全，特別是在使用較高電壓時(shí)，務(wù)必短接兩臺(tái) 2450 后面板上的 Interlock 端子。只有 Interlock 短接時(shí)，才能啟用高壓輸出。 2、軟件控制與同步： （1）使用 Kickstart 軟件可以方便地控制多臺(tái)源表。你需要?jiǎng)?chuàng)建一個(gè)新項(xiàng)目，添加兩臺(tái) 2450 儀器。 （2）如果通過 TSP-Link 同步兩臺(tái)源表，需先將每臺(tái) 2450 的 Command Set 設(shè)置為 TSP 模式（路徑：MENU → System → Settings → Command Set）。并為每臺(tái)儀器設(shè)置唯一的節(jié)點(diǎn)號(hào)（Node number，范圍1-64），然后初始化 TSP-Link 網(wǎng)絡(luò)。 （3）在 Kickstart 中配置掃描參數(shù)。例如，可以對 SMU #1（柵極）設(shè)置線性電壓掃描，對 SMU #2（漏極）設(shè)置多個(gè)固定的電壓值，從而自動(dòng)獲取完整的輸出特性曲線族。 3、測試執(zhí)行與數(shù)據(jù)管理： （1）啟動(dòng)掃描后，軟件（如 Kickstart）會(huì)自動(dòng)同步兩臺(tái)源表的操作并采集數(shù)據(jù)。 （2）軟件能實(shí)時(shí)繪制曲線（如 Id-Vg 轉(zhuǎn)移特性曲線、Id-Vd 輸出特性曲線），數(shù)據(jù)也可導(dǎo)出進(jìn)行后續(xù)分析。 五、注意事項(xiàng) （1）屏蔽與接地：為減少噪聲干擾對微小電流測量（如 nA 甚至 pA 級(jí)）的影響，強(qiáng)烈建議使用三同軸電纜并將屏蔽層良好接地。探針臺(tái)和測試夾具也應(yīng)盡可能放置在金屬屏蔽盒內(nèi)。 （2）電纜電容：電纜的寄生電容會(huì)影響高速或高阻抗測試的響應(yīng)速度和穩(wěn)定性。盡量使用短電纜，并給儀器足夠的穩(wěn)定時(shí)間（Aperture time）再進(jìn)行測量。 （3）設(shè)備安全：在施加偏壓前，務(wù)必仔細(xì)檢查連接，確保探針準(zhǔn)確接觸在正確的焊盤上，避免短路或誤加電壓損壞昂貴器件。 （4）測試速度與精度：Keithley 2450 提供了測試速度（Speed）與分辨率（Resolution）的調(diào)整選項(xiàng)。在追求更高測量精度時(shí)，可以適當(dāng)降低測試速度；若需快速掃描，則可選擇更快的速度但可能犧牲一定精度。您可以通過前面板的 QUICKSET 鍵快速調(diào)整這些設(shè)置。 六、高級(jí)應(yīng)用與技巧 （1）多種測試類型：這套系統(tǒng)除了進(jìn)行基本的 I-V 曲線掃描（I-V Sweep）外，還可用于 I-T（電流-時(shí)間）、V-T（電壓-時(shí)間）特性測試，以及研究器件的穩(wěn)定性與可靠性。 （2）溫度依賴性研究：若探針臺(tái)配備溫控平臺(tái)，可以同步改變溫度，研究器件性能（如閾值電壓、遷移率）的溫度特性。 （3）腳本自動(dòng)化：復(fù)雜的測試流程（如多步循環(huán)測試）可以通過編寫 TSP（Test Script Processor）腳本在儀器內(nèi)部運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化，減少計(jì)算機(jī)通信開銷。 （4）利用兩臺(tái) Keithley 2450 源表配合探針臺(tái)，可以構(gòu)建一個(gè)功能強(qiáng)大、精度高的三端器件測試平臺(tái)。希望這些信息能幫助您順利完成測試。 
探針臺(tái)示意圖 
KEITHLEY 2450型 數(shù)字源表示意圖
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