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產(chǎn)品中心

通用型10μm探針座

探針座作為探針臺(tái)的核心部件,主要用途是連接探針和線纜,為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)導(dǎo)通條件,從調(diào)節(jié)精度上來區(qū)分可分為10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,從操作方式來區(qū)分可分為手動(dòng)和電動(dòng),此外根據(jù)應(yīng)用場景的不同又可分為通用型探針座/萬向型探針座/L型探針座等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及光電行業(yè)的電學(xué)參數(shù)測試。


技術(shù)優(yōu)勢(shì):

.主體采用進(jìn)口航空鋁,保證高穩(wěn)定性的同時(shí),保證線性位移精度;

. 位移部分采用精密加工燕尾槽,保證位移精度;

.采用手輪驅(qū)動(dòng),雙頂絲設(shè)計(jì),保證穩(wěn)定性;

. 多功能調(diào)節(jié)夾具,可以實(shí)現(xiàn)180°旋轉(zhuǎn)及60°定向傾斜,適用于在顯微鏡下定向調(diào)節(jié)探針,不阻擋視野;

.底部配超強(qiáng)可控磁性底座,磁性吸附能力5Kg,保證扎針穩(wěn)定性。


細(xì)節(jié)展示:

技術(shù)參數(shù):

探針位移行程

XYZ三軸分別13mm,180°旋轉(zhuǎn),精密60°角度傾斜

整體結(jié)構(gòu)外形尺寸

220mm*45mm*84mm(LWH)
探針整體位移精度10μm
漏電精度10pA@同軸線纜,100fA@進(jìn)口三同軸線纜
可選接頭同軸線纜(BNC、鱷魚夾、香蕉插頭)/進(jìn)口三同軸線纜(三同軸接口)
測量范圍

電流:10pA/100fA~10A , 電壓:最大1000V


常規(guī)選型:

產(chǎn)品型號(hào)

調(diào)節(jié)精度

配套線纜

漏電流精度

TPLS10-UP

10μm

同軸線纜

(可選BNC/鱷魚夾/香蕉插頭)

10pA

TPLS10H-UP

10μm

三同軸線纜

100fA


應(yīng)用領(lǐng)域:

適用于R/F測量,I/O點(diǎn)測量,直流DC測試,晶圓測試,電阻電壓測試,太陽能電池測試,光電流測試,半導(dǎo)體器件分析測試等。


譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求,定制配套探針臺(tái)系統(tǒng),以達(dá)更好的測試效果及更高的性價(jià)比,具體信息可聯(lián)系詳詢。


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