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產(chǎn)品中心

通用型0.5μm探針座

探針座作為探針臺的核心部件，主要用途是連接探針和線纜，為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)導(dǎo)通條件，從調(diào)節(jié)精度上來區(qū)分可分為10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等，從操作方式來區(qū)分可分為手動和電動，此外根據(jù)應(yīng)用場景的不同又可分為通用型探針座/萬向型探針座/L型探針座等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及光電行業(yè)的電學(xué)參數(shù)測試。


技術(shù)優(yōu)勢：

.主體材質(zhì)采用進(jìn)口航空鋁，表面噴砂氧化，優(yōu)質(zhì)的機(jī)械性能；

.采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，超高穩(wěn)定性;

.采用進(jìn)口高分辨率差動微分頭，分辨率高達(dá)0.5μm；

. 多功能調(diào)節(jié)夾具，可以實(shí)現(xiàn)180°旋轉(zhuǎn)及60°定向傾斜調(diào)節(jié)；

.適用于在顯微鏡下定向調(diào)節(jié)探針，無視野遮擋;

.底部超強(qiáng)可調(diào)磁性底座，磁性吸附可達(dá)10Kg，保證扎針的穩(wěn)定性；

.可選配升級真空吸附，搭配7L/min真空泵。


細(xì)節(jié)展示：

技術(shù)參數(shù)：

探針位移行程
XYZ三維分別13mm，180°旋轉(zhuǎn)，精密60°角度傾斜（可鎖緊）
整體結(jié)構(gòu)外形尺寸300mm*82mm*120mm(LWH)
探針位移精度0.5μm
漏電精度10pA@同軸線纜，100fA@進(jìn)口三同軸線纜
可選接頭同軸線纜（BNC、鱷魚夾、香蕉插頭）/進(jìn)口三同軸線纜（三同軸接口）
測量范圍電流：10pA/100fA~10A , 電壓：≤1400V


常規(guī)選型：

產(chǎn)品型號

調(diào)節(jié)精度

配套線纜

漏電流精度

TPLS005-UP

0.5μm

同軸線纜

（可選BNC/鱷魚夾/香蕉插頭）

10pA

TPLS005H-UP

0.5μm

三同軸線纜

100fA


應(yīng)用領(lǐng)域：

適用于R/F測量，I/O點(diǎn)測量，直流DC測試，晶圓測試，電阻電壓測試，太陽能電池測試，光電流測試，半導(dǎo)體器件分析測試等。


譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺系統(tǒng)，以達(dá)更好的測試效果及更高的性價(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢。


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