探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。 TLRB系列標準型基礎(chǔ)測試探針臺是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而開發(fā)設(shè)計的一款高性價比探針臺系統(tǒng)，其功能齊全，滿足常規(guī)IV電學測試需要，廣泛應用于芯片、半導體材料/器件等光電相關(guān)領(lǐng)域。 |
| 技術(shù)優(yōu)勢： . 結(jié)構(gòu)緊湊，功能實用，高性價比; . 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試; . 滿足1μm以上電極/PAD使用; . 兼容高倍率電子顯微鏡/體視顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)及微調(diào)升降; . 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）; . 精密絲桿/燕尾傳動機構(gòu)，線性移動，無回程差設(shè)計; . 模塊化設(shè)計，可據(jù)應用需要增減相應模塊，性價比高。 |
細節(jié)展示： 
詳細模塊配置及參數(shù)說明：
名稱 | 型號 | 單位 | 數(shù)量 | 參數(shù) | 探針臺臺體 | MPT-B | 套 | 1 | . 底部蜂窩隔振面包板，臺面尺寸450mm*600mm*50mm，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；
. 三維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程50mm，Z軸行程60mm，整體分辨率10μm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊；
. 兩邊龍門架結(jié)構(gòu)，尺寸：300mm*150mm*190mm。 | 探針座 | TPLS-UP | 套 | 2 | .三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度10μm（可選配0.5μm，1μm，3μm）; .測量范圍：10pA-100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A； .行程：XYZ行程分別13mm； .固定方式：可調(diào)磁吸吸附； .探針夾持角度：偏擺60°； .配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。 | 顯微成像模塊 | ST61 | 套 | 1 | .三目體式顯微鏡； .放大倍數(shù)：40.2~270倍； .圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出； .中心距離：140mm，總高：350mm，升降范圍270mm； .目鏡：采用高眼點超廣角目鏡，視場φ23mm； .外置高亮無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形LED光源； .配置顯微鏡萬向支架； .配置高清顯示器及顯示器萬向支架； .可選配XY二維調(diào)節(jié)裝置，行程25*25mm，分辨率3um； .可據(jù)需求選配如電子顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。 | 真空吸附卡盤 | PVS-04 | 套 | 1 | .臺面尺寸：4/6/8/12英寸可選，不銹鋼材質(zhì)； .4英寸3個吸附孔，6/8英寸4個吸附孔，12英寸5個吸附孔； .標配進口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩(wěn)定運行； .搭配聚四氟材質(zhì)旋轉(zhuǎn)可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉(zhuǎn)； .背電極設(shè)計，可引出背電極； .吸附孔圓槽設(shè)計，增強吸附能力； .單獨吸附孔道，獨立真空吸附開關(guān)； .真空吸附套裝附件。 | 探針 | PTR-03 | 盒 | 1 | .鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； .鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。 |
常規(guī)選型：
產(chǎn)品型號 | 樣品臺尺寸 | 樣品臺位移精度 | 探針座位移精度 | 漏電流精度 | 探針座數(shù)量
| TLRB-04 | 4英寸 | 10μm
| 10μm | 10pA | 2個 | TLRB-06 | 6英寸 | 10μm | 10μm | 10pA | 2個 | TLRB-08 | 8英寸 | 10μm | 10μm | 10pA | 2個 | TLRB-12 | 12英寸 | 10μm | 10μm | 10pA | 2個 |
實驗附件及常規(guī)測試步驟： 光學隔振平臺(臺面>600mm*600mm)、一臺計算機(標準VGA接口和USB接口)、吉時利2400數(shù)字源表（含軟件）等。 測試時連接探針臺和數(shù)字源表，探針接被測物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面，待連接導通后打開源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點的I-V性能曲線。
應用領(lǐng)域： 半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實驗等。
譜量光電可根據(jù)客戶實際應用需求，定制配套探針臺系統(tǒng)，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢。
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