高分辨電動(dòng)二維材料轉(zhuǎn)移平臺(tái)
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LET-S系列高分辨電動(dòng)二維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng)是我司根據(jù)客戶特殊實(shí)驗(yàn)場景或高精度轉(zhuǎn)移應(yīng)用，自主研發(fā)的低維材料異質(zhì)結(jié)器件轉(zhuǎn)移產(chǎn)品，適用于石墨烯、硫化鉬、黑磷等單層材料精確定點(diǎn)轉(zhuǎn)移，以及多層范德華異質(zhì)結(jié)的制備，實(shí)現(xiàn)了低維材料轉(zhuǎn)移的可視化操作。轉(zhuǎn)移系統(tǒng)由高分辨金相顯微系統(tǒng)、精確控溫系統(tǒng)、真空吸附系統(tǒng)、高精度電動(dòng)樣品臺(tái)及電動(dòng)襯底載物臺(tái)等組成，目標(biāo)襯底載物臺(tái)可面內(nèi)大角度旋轉(zhuǎn)，是研究異質(zhì)結(jié)特性、空間反演對(duì)稱性破缺、以及二維材料不同堆疊方式影響的有力工具。 |
| 技術(shù)優(yōu)勢(shì)： . 集成化設(shè)計(jì)，易操作 . 高分辨金相成像，實(shí)現(xiàn)μm級(jí)尺度轉(zhuǎn)移 . 高位移精度，上位機(jī)或手輪控制 . 精確控溫模塊，適用多種材料 . 適用遠(yuǎn)距離不易手動(dòng)操作場景 | 應(yīng)用領(lǐng)域： . 魔角超導(dǎo) . 二維材料堆疊 . 單層材料襯底轉(zhuǎn)移 . 范德華異質(zhì)結(jié)制備 . 異質(zhì)結(jié)空間反演對(duì)稱性破缺 |
主要配置： | 項(xiàng)目名稱 | 核心指標(biāo) | 襯底載物平臺(tái) | XY方向兩軸電動(dòng)平移，臺(tái)面60mm x 60mm，行程20mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于1μm；繞Z軸電動(dòng)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，臺(tái)面φ60mm，360°可調(diào)，重復(fù)定位精度0.01°；水平傾斜調(diào)節(jié)，臺(tái)面60mm x 60mm，調(diào)節(jié)范圍±2°，最小調(diào)整量5′；真空吸附加熱樣品臺(tái)，高溫~240℃,PID溫控器，控溫精度優(yōu)于±0.1℃，高熱導(dǎo)率加熱臺(tái)面，帶散熱冷卻模塊，升降溫速度快。 | 載玻片位移平臺(tái) | XY方向兩軸手動(dòng)平移，臺(tái)面80mm x 80mm，行程25mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于2μm；Z軸電動(dòng)平移，臺(tái)面80mm x 80mm，行程30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于1μm；繞Z軸手動(dòng)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，臺(tái)面φ110mm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)，可視分辨率優(yōu)于0.57′，定制高穩(wěn)定載玻片夾具，裝夾方便。 | 高分辨金相顯微鏡 | 雙目鏡SWH10X/25mm,0.65倍CTV，明場長軸照明器，五孔物鏡轉(zhuǎn)盤，標(biāo)配5X、20X、50X復(fù)消色差長工作距離物鏡，10X、100X可選，預(yù)留濾光及偏光插槽，帶光闌調(diào)節(jié)通光量及視野大小，高穩(wěn)定調(diào)焦機(jī)構(gòu)，成像質(zhì)量優(yōu)異，適用μm級(jí)樣品定點(diǎn)精確轉(zhuǎn)移。 | 顯微鏡二維調(diào)節(jié) | 顯微鏡整體XY二維調(diào)節(jié)，行程50mm，精度高達(dá)2μm，可在二維材料貼合之后，大范圍調(diào)整顯微鏡觀察視野。
| 成像相機(jī) | 1200萬像素高靈敏度彩色數(shù)字相機(jī)，高清成像，提供相機(jī)操作軟件。 | 高清顯示器 | 24英寸2K高清顯示器，配置高穩(wěn)定萬向調(diào)節(jié)支架。 | 集成式電控機(jī)箱 | 系統(tǒng)電學(xué)控制集成，控制樣品臺(tái)加熱、冷卻模塊、溫控模塊、真空吸附。 | 真空泵 | 吐出空氣量7L/min，達(dá)到真空度-33.3Kpa，耐用時(shí)間超10000小時(shí)。 | | 選配功能 | 探針臺(tái)模塊、光學(xué)隔振平臺(tái)、PDMS熱釋薄膜、二維材料（機(jī)械剝離、塊材）、物鏡（10X、100X）、電動(dòng)調(diào)節(jié)模塊、手套箱環(huán)境使用等。 |
應(yīng)用案例： 
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