探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。 LVSC系列太陽能電池測試探針臺是譜量根據(jù)客戶實際應用需求，推出的結構小巧，功能實用，性價比高的專用探針臺，該探針臺系統(tǒng)包括探針臺體、鍍金樣品臺、真空吸附系統(tǒng)、探針座等。 多用于太陽能電池及電池片測試。 |
| 技術優(yōu)勢：
.紫銅樣品臺，集成兩種測試模塊，方便測試不同樣品 .針座采用一體式探針夾具，鍍金處理，10μm調(diào)節(jié)精度 .進口高功率超靜音無油真空泵，經(jīng)久耐用 .系統(tǒng)小巧輕便集成度高，操作簡單 |
詳細模塊配置及參數(shù)說明： 名稱 | 型號 | 單位 | 數(shù)量 | 參數(shù) | 探針臺臺體 | CRS-RH | 套 | 1 | . 一體式鋁合金氧化底座，表面啞光處理；
. 底部配升降地腳，可以滿足不同實驗環(huán)境；
. 兩側(cè)集成探針架，帶磁吸功能； . 傾斜式把手，方便搬運； | 探針座 | TPLS-IP | 套 | 2 | .三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度10μm; .測量范圍：10pA-10A； .行程：XYZ行程分別13mm； .固定方式：可調(diào)磁吸吸附； .一體式探針夾具，表面鍍金處理，兼顧穩(wěn)定性及測試精度。 | 真空吸附樣品臺 | PSL10 | 個 | 1 |
.臺面尺寸：4英寸，紫銅材質(zhì)； .配置水冷接口，有效提高測試穩(wěn)定性； .集成兩種測試模塊，均具有吸附功能，單獨吸附孔道； .邊緣絕緣性處理，消除短路隱患，適合疊層太陽能電池測試； .滑動式切換，方便測試不同樣品； | 靜音無油真空泵 | PST-30 | 臺 | 1 | .標配進口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩(wěn)定運行； .吸力強勁無噪音； .不加油密封性能好； | 探針 | PTR-03 | 盒 | 1 | .鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； .鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； .鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。 |
常規(guī)選型： 產(chǎn)品型號 | 樣品臺尺寸 | 樣品臺位移精度 | 探針座位移精度 | 漏電流精度 | LVSCP-04 | 4英寸 | 10μm
| 10μm | 10pA | | LVSCF-04 | 4英寸 | 10μm | 10μm | 100fA |
實驗附件及常規(guī)測試步驟： 光學隔振平臺、一臺計算機(標準VGA接口和USB接口)、吉時利2450數(shù)字源表（含軟件）等。 測試時連接探針臺和數(shù)字源表，探針接被測物體電極，待連接導通后打開源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點的I-V性能曲線。
應用領域： 太陽能電池及電池片測試、半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實驗等。
譜量光電可根據(jù)客戶實際應用需求，定制配套探針臺系統(tǒng)，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢。
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