技術(shù)優(yōu)勢:
.模塊化設(shè)計,可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試 . 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試 .探針臺整體位移精度高達(dá)3μm,樣品臺精密四維調(diào)節(jié) . 兼容多種光學(xué)顯微鏡,可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試 . PID控溫,可加熱至300℃,精度±0.1℃,均勻性±5℃; . 滿足1μm以上電極/PAD使用 |
. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi)) . 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌,線性移動,無回程差設(shè)計 . 加寬探針放置架,可放置6個DC探針座/4個RF探針座 . 顯微鏡可二維精密調(diào)節(jié),且可選配多種行程及驅(qū)動方式 .材料電學(xué)測試系統(tǒng)、光電探測器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電mapping測試系統(tǒng)、憶阻器與神經(jīng)元系統(tǒng)等 |