探針臺(tái)又稱探針測試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測試等用途。 TLRS系列簡易型基礎(chǔ)測試探針臺(tái)是我司根據(jù)產(chǎn)業(yè)用戶生產(chǎn)檢測需要，而特定設(shè)計(jì)的一款簡易便攜高性價(jià)比探針臺(tái)，滿足產(chǎn)線基本電學(xué)參數(shù)測試同時(shí)兼顧低成本優(yōu)勢，已成為工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域批量檢測的理想之選。 |
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技術(shù)優(yōu)勢： . 結(jié)構(gòu)緊湊，功能實(shí)用，高性價(jià)比; . 樣品臺(tái)XYZR四維調(diào)節(jié)，整體分辨率10μm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊; . 滿足1μm以上電極/PAD使用; . 兼容多種顯微鏡，可引入光路，完成光電mapping測試; . 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）; . 精密傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，線性移動(dòng)，無回程差設(shè)計(jì); . U型探針架，可以放置多個(gè)探針座； . 整體尺寸小，方便攜帶，底部蜂窩隔振板，提高測試穩(wěn)定性。 |
細(xì)節(jié)展示： 
詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說明：
名稱 | 型號 | 單位 | 數(shù)量 | 參數(shù) | 探針臺(tái)臺(tái)體 | PBL | 套 | 1 | . 底部隔振面包板，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；
. 四維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程110/150mm，Z軸行程10mm，整體分辨率10μm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊；
. U型探針架，可放置多個(gè)探針座。 | 探針座 | TPLS-UP | 套 | 2 | .三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度10μm（可選配0.5μm，1μm，3μm）; .測量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A； .行程：XYZ行程分別13mm； .固定方式：可調(diào)磁吸吸附，真空吸附，螺絲固定； .配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。 | 顯微成像模塊 | ST51 | 套 | 1 | .體式顯微鏡； .放大倍數(shù)：40.2~270倍； .圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出； .目鏡：采用高眼點(diǎn)超廣角目鏡，視場φ23mm； .外置高亮無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形LED光源； .配置顯微鏡萬向支架； .配置高清顯示器及顯示器萬向支架； .可選配XY二維調(diào)節(jié)裝置，行程25*25mm，分辨率3μm； .可據(jù)需求選配如電子顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。 | 真空吸附卡盤 | PVS-04 | 套 | 1 | .臺(tái)面尺寸：4/6英寸可選，不銹鋼材質(zhì)； .標(biāo)配進(jìn)口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩(wěn)定運(yùn)行； .環(huán)形吸附模式，增強(qiáng)吸附力； .背電極設(shè)計(jì)，可引出背電極； .真空吸附套裝附件。 | 探針 | PTR-03
| 盒 | 1 | .鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； .鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。 |
常規(guī)選型： 產(chǎn)品型號 | 樣品臺(tái)尺寸 | 樣品臺(tái)位移精度 | 樣品臺(tái)位移精度 | 漏電流精度 | 探針座數(shù)量
| TLRS-04 | 4英寸 | 10μm
| 10μm
| 10pA | 2個(gè) | TLRS-06 | 6英寸 | 10μm | 10μm | 10pA | 2個(gè) |
實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測試步驟： 光學(xué)隔振平臺(tái)(臺(tái)面>600mm*600mm)、一臺(tái)計(jì)算機(jī)(標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB接口)、吉時(shí)利2400數(shù)字源表（含軟件）等。 測試時(shí)連接探針臺(tái)和數(shù)字源表，探針接被測物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面，待連接導(dǎo)通后打開源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線。
應(yīng)用領(lǐng)域： 半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實(shí)驗(yàn)等。
譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng)，以達(dá)更好的測試效果及更高的性價(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢。
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