探針臺(tái)又稱(chēng)探針測(cè)試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測(cè)試等用途。 TLRH系列精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而特定設(shè)計(jì)的一款高精密高穩(wěn)定探針臺(tái)，其較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制，已成為包括場(chǎng)效應(yīng)管在內(nèi)的多端器件IV測(cè)試的理想之選。 |
| 技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
.模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測(cè)試； . 最大可用于12英寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試; .探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié)； . 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試； . 滿(mǎn)足1μm以上電極/PAD使用; . 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）; . 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線(xiàn)性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì); . 加寬探針?lè)胖眉埽煞胖?個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座； . 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式。 |
細(xì)節(jié)展示： 
詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說(shuō)明： 名稱(chēng) | 型號(hào) | 單位 | 數(shù)量 | 參數(shù) | 探針臺(tái)臺(tái)體 | MPT-H | 套 | 1 | . 底部蜂窩隔振面包板，尺寸450mm*600mm*50mm帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；
. 四維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程110mm，Z軸行程10mm，整體分辨率3μm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)；
. 兩邊半圓形高穩(wěn)定性探針架，集成真空吸附開(kāi)關(guān)，帶有連接標(biāo)準(zhǔn)探針卡夾具接口（探針卡單買(mǎi)），表面鐵磁不銹鋼材質(zhì)，拉絲鍍鉻處理，保證磁吸穩(wěn)定性的同時(shí)防止生銹。 | 探針座 | TPLS-UP | 套 | 3 | .三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度3μm（可選配0.5μm，1μm）; .測(cè)量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A； .行程：XYZ行程分別13mm； .固定方式：可調(diào)磁吸吸附； .探針夾持角度：偏擺60°； .配置線(xiàn)纜：同軸線(xiàn)纜（漏電精度10pA）/三同軸線(xiàn)纜（漏電精度100fA）。 | 顯微成像模塊 | ST61 | 套 | 1 | .三目體式顯微鏡； .放大倍數(shù)：40.2~270倍； .圖像傳感器：2000萬(wàn)像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出； .中心距離：140mm，總高：350mm，升降范圍270mm； .目鏡：采用高眼點(diǎn)超廣角目鏡，視場(chǎng)φ23mm； .外置高亮無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形LED光源； .配置顯微鏡萬(wàn)向支架； .配置高清顯示器及顯示器萬(wàn)向支架； .標(biāo)配XY二維調(diào)節(jié)裝置，行程25*25mm，分辨率3um； .可據(jù)需求選配如激光顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。 | 真空吸附卡盤(pán) | PVS-04 | 套 | 1 | .臺(tái)面尺寸：4/6/8/12英寸可選，不銹鋼材質(zhì)； .4英寸3個(gè)吸附孔，6/8英寸4個(gè)吸附孔，12英寸5個(gè)吸附孔； .標(biāo)配進(jìn)口無(wú)油真空泵，吐出空氣量7L/min,長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行； .搭配聚四氟材質(zhì)旋轉(zhuǎn)可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉(zhuǎn)； .背電極設(shè)計(jì)，可引出背電極； .吸附孔圓槽設(shè)計(jì)，增強(qiáng)吸附能力； .單獨(dú)吸附孔道，獨(dú)立真空吸附開(kāi)關(guān)； .真空吸附套裝附件。 | 探針 | PTR-03 | 盒 | 1 | .鎢鋼探針：長(zhǎng)38mm，直徑0.5mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）； .鎢鋼鍍金探針：長(zhǎng)38mm，直徑0.5mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.鍍金軟針：長(zhǎng)51mm，可測(cè)電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。 |
常規(guī)選型： 產(chǎn)品型號(hào) | 樣品臺(tái)尺寸 | 樣品臺(tái)位移精度 | 探針座位移精度 | 漏電流精度 | 探針座數(shù)量 | TLRH-04 | 4英寸 | 3μm
| 3μm | 100fA | 3個(gè) | TLRH-06 | 6英寸 | 3μm | 3μm | 100fA | 3個(gè) | TLRH-08 | 8英寸 | 3μm | 3μm | 100fA | 3個(gè) | TLRH-12 | 12英寸 | 3μm | 3μm | 100fA | 3個(gè)
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實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測(cè)試步驟： 光學(xué)隔振平臺(tái)(臺(tái)面>600mm*600mm)、一臺(tái)計(jì)算機(jī)(標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB接口)、吉時(shí)利2400數(shù)字源表（含軟件）等。 測(cè)試時(shí)連接探針臺(tái)和數(shù)字源表，探針接被測(cè)物體，通過(guò)顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測(cè)物表面，待連接導(dǎo)通后打開(kāi)源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線(xiàn)。
應(yīng)用領(lǐng)域： 半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)、功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、PCB測(cè)試、液晶面板測(cè)試、測(cè)量表面電阻率測(cè)試、精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)、航空航天實(shí)驗(yàn)等。
譜量光電可根據(jù)客戶(hù)實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng)，以達(dá)更好的測(cè)試效果及更高的性?xún)r(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢(xún)。
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