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譜量光電研發(fā)制造的精密氣浮隔振光學(xué)平臺，能夠滿足精密負(fù)載對振動隔離需求。上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁SUS430不銹鋼，臺面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu)，內(nèi)核密度大幅度提高，具有優(yōu)秀的硬重比和剛性，同時保證了較低的固有頻率，具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝，平面度可達≤0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工藝清除毛邊，達到無反射、啞光效果，面板具有M6陣列螺孔，易于固定光學(xué)元件。 氣浮支架采用整體焊接工藝（四支撐或六支撐結(jié)構(gòu)），半膜片式空氣彈簧，采用進口三水平調(diào)節(jié)閥技術(shù)，反應(yīng)靈敏，響應(yīng)迅速，在超載偏重的實驗條件下，能瞬間恢復(fù)初始的平衡狀態(tài)。支撐腿內(nèi)部為二級氣室結(jié)構(gòu)，氣室間帶有阻尼孔，氣動元件全部采用德國FESTO產(chǎn)品，標(biāo)配優(yōu)質(zhì)大功率超靜音壓縮機，整體結(jié)構(gòu)保證平臺有較高的穩(wěn)定性。
技術(shù)參數(shù)： 平面度 | ≤0.05mm/㎡ | 表面粗糙度 | ＜0.6um | 固有頻率 | X方向：1.2~2Hz，Y方向：1.2~2Hz | 振幅 | <2um | 螺孔間距 | 25mm | 孔距公差 | ±0.05mm | | 螺孔規(guī)格 | M6（公制） | | 螺孔公差 | ±0.03mm | | 載荷能力 | 300Kg/㎡ | | 臺面厚度 | 100mm/150mm/200mm/250mm/300mm | | 臺面重量 | 120Kg/㎡@100mm厚，140Kg/㎡@200mm厚，165Kg/㎡@300mm厚（≈） |
產(chǎn)品選型表： 產(chǎn)品型號 | 尺寸（mm） | 載荷（Kg） | 支撐腿數(shù)量 | 支架寬度（mm） | PLGZQ-06 | 600x600x800 | 800 | 4 | 120*120 | PLGZQ-075 | 750x750x800 | 800 | 4 | 120*120 | PLGZQ-0906 | 900x600x800 | 800 | 4 | 120*120 | PLGZQ-1007 | 1000x700x800 | 800 | 4 | 120*120 | PLGZQ-1008 | 1000x800x800 | 800 | 4 | 120*120 | PLGZQ-1208 | 1200x800x800 | 800 | 4 | 120*120 | PLGZQ-1509 | 1500x900x800 | 1400 | 4 | 200*200 | PLGZQ-1510 | 1500x1000x800 | 1400 | 4 | 200*200 | PLGZQ-1609 | 1600x900x800 | 1400 | 4 | 200*200 | PLGZQ-1810 | 1800x1000x800 | 1400 | 4 | 200*200 | PLGZQ-1812 | 1800x1200x800 | 1400 | 4 | 200*200 | PLGZQ-2010 | 2000x1000x800 | 1400 | 4 | 200*200 | PLGZQ-2012 | 2000x1200x800 | 1400 | 4 | 200*200 | PLGZQ-2015 | 2000x1500x800 | 1400 | 4 | 200*200 | PLGZQ-2412 | 2400x1200x800 | 1400 | 4 | 200*200 | PLGZQ-2415 | 2400x1500x800 | 2000 | 4 | 200*200 | PLGZQ-3010 | 3000x1000x800 | 2000 | 6 | 200*200 | PLGZQ-3012 | 3000x1200x800 | 2000 | 6 | 200*200 | PLGZQ-3015 | 3000x1500x800 | 2000 | 6 | 200*200 | PLGZQ-3512 | 3500x1200x800 | 2000 | 6 | 200*200 | PLGZQ-3515 | 3500x1500x800 | 2000 | 6 | 200*200 | PLGZQ-4015 | 4000x1500x800 | 2500 | 6 | 200*200 | PLGZQ-4215 | 4200x1500x800 | 2500 | 8 | 200*200 | PLGZQ-4815 | 4800x1500x800 | 2500 | 8 | 200*200 | PLGZQ-5415 | 5400x1500x800 | 2500 | 12 | 200*200 | PLGZQ-6015 | 6000x1500x800 | 2500 | 12 | 200*200 |
*各種尺寸規(guī)格均可按客戶需求定制。 了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請登錄查閱我司官方商城 （ www.plctss.com ） 光學(xué)平臺版塊。
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