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產(chǎn)品中心

精密型光電測試探針臺(tái)

探針臺(tái)又稱探針測試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測試等用途。

TLPH系列精密型光電測試探針臺(tái)是基于TLRH系列升級(jí)激光顯微鏡而來，實(shí)現(xiàn)高分辨率成像的同時(shí)兼顧外引激光光路，實(shí)現(xiàn)光電流與IV的雙功能檢測，是光電芯片/器件測試的理想之選。


技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

.模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試；

. 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試;

.探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié)；

. 激光顯微鏡，5檔物鏡轉(zhuǎn)盤，可引入激光完成光電流測試；

. 滿足1μm以上電極/PAD使用;

. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

. 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動(dòng)，無回程差設(shè)計(jì);

. 加寬探針放置架，可放置6個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座；

. 配顯微鏡三維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式。

細(xì)節(jié)展示：


詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說明：

名稱

型號(hào)

單位

數(shù)量

參數(shù)

探針臺(tái)臺(tái)體

MPT-H

套

1

. 底部蜂窩隔振面包板，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；

. 三維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程110mm，Z軸行程10mm，整體分辨率3μm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)；

. 兩邊龍門架結(jié)構(gòu)，尺寸：300mm*150mm*190mm。

探針座

TPLS-UP

套

3

.三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度3μm（可選配0.5μm，1μm）;

.測量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A；

.行程：XYZ行程分別13mm；

.固定方式：可調(diào)磁吸吸附；

.探針夾持角度：偏擺60°；

.配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。

顯微成像模塊

LMU-FB套1

.高分辨激光成像顯微鏡，可外引激光，配置5X、10X、20X、50X物鏡（可選），五檔位物鏡轉(zhuǎn)盤；

.圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；

.照明光源：白色LED照明：同軸照明系統(tǒng)，選用高亮度單顆3W LED，色溫5500K，照明均勻；LED照明控制器90V-250V寬電壓3W LED控制器，可調(diào)光；

.集成 XY 位移臺(tái)以及精密升降臺(tái)，行程 25mmx25mmx50.8mm 升降，精度 3μm；

真空吸附卡盤

PVS-04

套

1

.臺(tái)面尺寸：4/6/8/12寸可選，不銹鋼材質(zhì)；

.4英寸3個(gè)吸附孔，6/8英寸4個(gè)吸附孔，12英寸5個(gè)吸附孔；

.標(biāo)配進(jìn)口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩(wěn)定運(yùn)行；

.搭配聚四氟材質(zhì)旋轉(zhuǎn)可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉(zhuǎn)；

.背電極設(shè)計(jì)，可引出背電極；

.吸附孔圓槽設(shè)計(jì)，增強(qiáng)吸附能力；

.單獨(dú)吸附孔道，獨(dú)立真空吸附開關(guān)；

.真空吸附套裝附件。

探針

PTR-03

盒

1

.鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

.鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

.鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。


常規(guī)選型：

產(chǎn)品型號(hào)

樣品臺(tái)尺寸

樣品臺(tái)位移精度

探針座位移精度

漏電流精度

探針座數(shù)量

TLPH-04

4英寸

3μm

3μm

100fA

3個(gè)

TLPH-06

6英寸

3μm

3μm

100fA3個(gè)

TLPH-08

8英寸

3μm

3μm

100fA

3個(gè)

TLPH-12

12英寸

3μm

3μm

100fA3個(gè)


實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測試步驟：

光學(xué)隔振平臺(tái)(臺(tái)面>600mm*600mm)、一臺(tái)計(jì)算機(jī)(標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB接口)、吉時(shí)利2400數(shù)字源表（含軟件）等。

測試時(shí)連接探針臺(tái)和數(shù)字源表，探針接被測物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面，待連接導(dǎo)通后打開源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線。


應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實(shí)驗(yàn)等。


譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng)，以達(dá)更好的測試效果及更高的性價(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢。


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