三線擺式高性能氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)
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譜量光電研發(fā)生產(chǎn)的三線擺式高性能氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)，是我司結(jié)合多年在隔振領(lǐng)域的研發(fā)及應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，為超高精密實(shí)驗(yàn)需求開發(fā)的一款高性能氣浮隔振平臺(tái)，對(duì)標(biāo)業(yè)內(nèi)一線品牌，支腿為獨(dú)立式圓腿支撐，無整體共振，內(nèi)部三線擺設(shè)計(jì)可將振動(dòng)隔離到更低的水平，并在受到干擾后實(shí)現(xiàn)高精度工作臺(tái)重新定位，層流阻尼技術(shù)大大提高阻尼效率，混合腔設(shè)計(jì)極大增加給定尺寸下的柔性體積，同時(shí)有效降低了固有頻率。 平臺(tái)標(biāo)配大功率優(yōu)質(zhì)超靜音壓縮機(jī)。上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁430不銹鋼具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點(diǎn)，經(jīng)精密研磨處理平面度高，回旋打磨工藝清除毛邊達(dá)到無反射、亞光效果，面板具有M6陣列螺孔，易于固定光學(xué)元件，是超高精密科研實(shí)驗(yàn)的理想之選。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
| ● 微米級(jí)層流阻尼 ● SMC 納米級(jí)高流量氣動(dòng)執(zhí)行元件 ● 高性能氣動(dòng)減振器，共振頻率最低 1Hz ● 支腿頂部配有安全連接件，大大提升安全性 | ● 混合腔設(shè)計(jì)最大程度的提高了工作穩(wěn)定性與極低的固有頻率
●三線擺設(shè)計(jì)最大程度的隔離振動(dòng)并在受到干擾后實(shí)現(xiàn)高精度復(fù)位 ●頂部調(diào)節(jié)裝置可輕松完成±10mm 調(diào)節(jié) ●行業(yè)領(lǐng)先的蜂窩粘接焊接專利技術(shù) |
產(chǎn)品展示：
技術(shù)參數(shù)：
平面度 | ≤0.05mm/㎡ | 表面粗糙度 | ＜0.8μm | 固有頻率 |
垂直＜1.0-1.5Hz；水平＜1.0-1.5Hz（同實(shí)際負(fù)載相關(guān)）垂直共振低至 1Hz | 減振效率 |
垂直：5Hz 時(shí)：85-90％；10Hz 時(shí)：91-96％ 水平：5Hz 時(shí)：87-92％；10Hz 時(shí)：92-97％ | 振幅 | <2μm | 孔距公差 | ±0.05mm | | 螺孔規(guī)格 | M6（公制） | | 螺孔公差 | ±0.03mm | | 載荷能力 | 300Kg/㎡ | | 臺(tái)面厚度 | 100mm/150mm/200mm/250mm/300mm | | 臺(tái)面重量 | 120Kg/㎡@100mm厚，140Kg/㎡@200mm厚，165Kg/㎡@300mm厚（≈） | | 調(diào)節(jié)方式 | 自動(dòng)定心 | | 隔振方式 | 三線擺桿、混合腔結(jié)構(gòu) | | 阻尼方式 | 微米級(jí)層流阻尼 |
測(cè)試數(shù)據(jù)：
減振效率：垂直：5Hz 時(shí)：91％；10Hz 時(shí)：94％，水平：5Hz 時(shí)：92％；10Hz 時(shí)：97％ | 
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靜態(tài)振幅測(cè)試結(jié)果：0.00192 | 
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固有頻率測(cè)試結(jié)果：垂直固有頻率 1.40625Hz | 
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水平固有頻率 1.25Hz | 
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產(chǎn)品選型表： 產(chǎn)品型號(hào) | 尺寸（mm） | 載荷（Kg） | 支腿外徑（mm） | 支腿數(shù)量（mm） | PLGQS-1208 | 1200x800x800 | 800 | 300 | 4支撐 | PLGQS-1509 | 1500x900x800 | 1400 | 300 | 4支撐
| PLGQS-1510 | 1500x1000x800 | 1400 | 300 | 4支撐 | PLGQS-1609 | 1600x900x800 | 1400 | 300 | 4支撐 | PLGQS-1810 | 1800x1000x800 | 1400 | 300 | 4支撐 | PLGQS-1812 | 1800x1200x800 | 1400 | 300 | 4支撐 | PLGQS-2010 | 2000x1000x800 | 1400 | 300 | 4支撐 | PLGQS-2012 | 2000x1200x800 | 1400 | 300 | 4支撐 | PLGQS-2015 | 2000x1500x800 | 1400 | 300 | 4支撐 | PLGQS-2412 | 2400x1200x800 | 1400 | 300 | 4支撐 | PLGQS-2415 | 2400x1500x800 | 2000 | 300 | 4支撐 | PLGQS-3010 | 3000x1000x800 | 2000 | 300 | 6支撐 | PLGQS-3012 | 3000x1200x800 | 2000 | 300 | 6支撐 | PLGQS-3015 | 3000x1500x800 | 2000 | 300 | 6支撐 | PLGQS-3512 | 3500x1200x800 | 2000 | 300 | 6支撐 | PLGQS-3515 | 3500x1500x800 | 2000 | 300 | 6支撐 | PLGQS-4015 | 4000x1500x800 | 2500 | 300 | 8支撐 | PLGQS-4215 | 4200x1500x800 | 2500 | 300 | 8支撐 | PLGQS-4815 | 4800x1500x800 | 2500 | 300 | 8支撐 | PLGQS-5415 | 5400x1500x800 | 2500 | 300 | 10支撐 | PLGQS-6015 | 6000x1500x800 | 2500 | 300 | 10支撐 |
*各種尺寸規(guī)格均可按客戶需求定制。 了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請(qǐng)登錄查閱我司官方商城 （ www.plctss.com ） 光學(xué)平臺(tái)版塊。
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