| 項目名稱 | 核心指標(biāo) |
襯底載物平臺 | XY方向兩軸手動平移，臺面60mm x 60mm，行程25mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于2μm；繞Z軸旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，臺面φ85mm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)，可視分辨率優(yōu)于0.8′；水平傾斜調(diào)節(jié)，臺面60mm x 60mm，調(diào)節(jié)范圍±2°，最小調(diào)整量5′；真空吸附加熱樣品臺，高溫~240℃,PID溫控器，控溫精度優(yōu)于±0.1℃，高熱導(dǎo)率加熱臺面，帶散熱冷卻模塊，升降溫速度快。 |
載玻片位移平臺 | XYZ方向三軸手動平移，臺面80mm x 80mm，行程25mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于2μm；繞Z軸旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，臺面φ110mm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)，可視分辨率優(yōu)于0.57′，定制高穩(wěn)定載玻片夾具，裝夾方便。 |
高分辨金相顯微鏡 | 雙目鏡SWH10X/25mm,0.65倍CTV，明場長軸照明器，五孔物鏡轉(zhuǎn)盤，標(biāo)配5X、20X、50X復(fù)消色差長工作距離物鏡，10X、100X可選，預(yù)留濾光及偏光插槽，帶光闌調(diào)節(jié)通光量及視野大小，高穩(wěn)定調(diào)焦機構(gòu)，成像質(zhì)量優(yōu)異，適用μm級樣品定點精確轉(zhuǎn)移。 |
顯微鏡二維調(diào)節(jié) | 顯微鏡整體XY二維調(diào)節(jié)，行程50mm，精度高達(dá)2μm，可在二維材料貼合之后，大范圍調(diào)整顯微鏡觀察視野。
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成像相機 | 1200萬像素高靈敏度彩色數(shù)字相機，高清成像，提供相機操作軟件。 |
高清顯示器 | 24英寸2K高清顯示器，配置高穩(wěn)定萬向調(diào)節(jié)支架。 |
集成式電控機箱 | 系統(tǒng)電學(xué)控制集成，控制樣品臺加熱、冷卻模塊、溫控模塊、真空吸附。 |
真空泵 | 吐出空氣量7L/min，達(dá)到真空度-33.3Kpa，耐用時間超10000小時。 |
| 選配功能 | 探針臺模塊、光學(xué)隔振平臺、PDMS熱釋薄膜、二維材料（機械剝離、塊材）、物鏡（10X、100X）、電動調(diào)節(jié)模塊、手套箱環(huán)境使用等。 |