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產(chǎn)品中心

原位高精度電動拉伸探針臺

探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。

隨著近年來柔性電子材料與器件及壓電薄膜材料等領(lǐng)域的日漸崛起，如柔性可穿戴傳感器，人機交互、儲能換能器件、軟體智能機器等應(yīng)用更是吸引眾多研究者的關(guān)注。針對該研究領(lǐng)域，我司特開發(fā)TLPS-E系列原位高精度電動拉伸探針臺產(chǎn)品，為柔性薄膜材料、壓電材料等相關(guān)提供研究解決方案，是研究材料不同曲率條件下光電特性變化的有力工具。



技術(shù)優(yōu)勢：

.樣品臺XY二維手動調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度達3μm；

. 超薄四軸電動拉伸臺，重復(fù)定位精度高達1μm;

.頂絲夾持式夾具，四向固定，也可根據(jù)實驗需求定制；

. 激光顯微鏡，5檔物鏡轉(zhuǎn)盤，可引入激光完成光電流測試；

. 顯微鏡電動調(diào)焦，行程150mm，重復(fù)定位精度高達1μm;

. 集成式電動控制器，上位機及高精度手柄;控制；

. 標(biāo)配3個3μm精度直流探針座（可選配）；

. 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

. 配置顯微鏡XY二維輔助調(diào)節(jié)，行程50mm，調(diào)節(jié)精度3μm。


細節(jié)展示：


詳細模塊配置及參數(shù)說明：

名稱

型號

單位

數(shù)量

參數(shù)

探針臺臺體

MPT-H

套

1

. 底部蜂窩隔振面包板，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；

. 二維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程110mm，整體分辨率3μm；

. 兩邊龍門架結(jié)構(gòu)，尺寸：300mm*150mm*190mm。

探針座

TPLS-UP

套

3

.三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度3μm（可選配0.5μm，1μm）;

.測量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A；

.行程：XYZ行程分別13mm；

.固定方式：可調(diào)磁吸吸附；

.探針夾持角度：偏擺60°；

.配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。

顯微成像模塊

LMU-FB套1

.高分辨激光成像顯微鏡，可外引激光，配置5X、10X、20X、50X物鏡（可選），五檔位物鏡轉(zhuǎn)盤；

.圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；

.照明光源：白色LED照明：同軸照明系統(tǒng)，選用高亮度單顆3W LED，色溫5500K，照明均勻；LED照明控制器90V-250V寬電壓3W LED控制器，可調(diào)光；

.集成 XY 手動位移調(diào)節(jié)以及電動升降調(diào)焦，XY行程50mm，調(diào)節(jié)精度3μm， 升降行程150mm，精度達1μm；

原位電動四軸拉伸臺

HST-04

套

1

.四軸電動控制，行程50mm，臺面尺寸40*25mm；

.重復(fù)定位精度達1μm，運行平穩(wěn)度0.01mm；

.四軸運動控制器，上位機及高精度手柄控制；

.支持二次開發(fā)協(xié)議以及基于Labview程序開發(fā)定制；

探針

PTR-03

盒

1

.鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

.鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

.鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。


常規(guī)選型：

產(chǎn)品型號

樣品臺位移精度

拉伸臺行程

拉伸臺位移精度

漏電流精度

探針座數(shù)量選配

TLPS-E

3μm

50mm

1μm

100fA

3個精確控溫臺


應(yīng)用領(lǐng)域：

柔性電子材料與器件、壓電薄膜、半導(dǎo)體壓電材料、柔性科穿戴器件、換能器、壓電傳感等。


譜量光電可根據(jù)客戶實際應(yīng)用需求，定制配套探針臺系統(tǒng)，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢。


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