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產(chǎn)品中心

高精度電動(dòng)探針座

探針座作為探針臺(tái)的核心部件，主要用途是連接探針和線纜，為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)導(dǎo)通條件，從調(diào)節(jié)精度上來區(qū)分可分為10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等，從操作方式來區(qū)分可分為手動(dòng)和電動(dòng)，此外根據(jù)應(yīng)用場景的不同又可分為通用型探針座/萬向型探針座/L型探針座等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及光電行業(yè)的電學(xué)參數(shù)測試。

譜量光電針對行業(yè)高精度應(yīng)用場景需求，新推出電動(dòng)款五相高精度探針座，低速無抖動(dòng)，實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位，搭配我司多軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)以及運(yùn)動(dòng)手輪組合，輕松實(shí)現(xiàn)單軸運(yùn)動(dòng)或多軸聯(lián)動(dòng)，單個(gè)控制器最多可連接三個(gè)電動(dòng)探針座，實(shí)現(xiàn)九個(gè)維度的精確控制。


技術(shù)優(yōu)勢：

.主體材質(zhì)采用進(jìn)口航空鋁，表面噴砂氧化，優(yōu)質(zhì)的機(jī)械性能；

.五相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，精度高達(dá)亞微米級(jí);

.上位機(jī)軟件及手柄雙模式控制，自動(dòng)化扎針，適應(yīng)不同應(yīng)用場景；

. 多功能調(diào)節(jié)夾具，可以實(shí)現(xiàn)180°旋轉(zhuǎn)及60°定向傾斜調(diào)節(jié)；

.集成式控制器，可單軸或多軸聯(lián)動(dòng)控制;

.底部超強(qiáng)可調(diào)磁性底座，磁性吸附可達(dá)10Kg，保證扎針的穩(wěn)定性；

.可選配升級(jí)真空吸附，搭配7L/min真空泵。


操作方式：


技術(shù)參數(shù)：

探針位移行程
XYZ三維分別15mm，夾具180°旋轉(zhuǎn)，精密60°角度傾斜（可鎖緊）
探針位移精度~1μm
手動(dòng)升降調(diào)節(jié)行程15mm，分辨率0.5μm
漏電精度10pA@同軸線纜，100fA@進(jìn)口三同軸線纜
可選接頭同軸線纜（BNC、鱷魚夾、香蕉插頭）/進(jìn)口三同軸線纜（三同軸接口）
測量范圍電流：10pA/100fA~10A , 電壓：最大1000V


常規(guī)選型：

產(chǎn)品型號(hào)

調(diào)節(jié)精度

配套線纜

最大速度

漏電流精度

TPES-UP

~1μm

三同軸線纜/同軸線纜

10mm/s

100fA/10pA


應(yīng)用領(lǐng)域：

適用于R/F測量，I/O點(diǎn)測量，直流DC測試，晶圓測試，電阻電壓測試，太陽能電池測試，光電流測試，半導(dǎo)體器件分析測試等。


譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng)，以達(dá)更好的測試效果及更高的性價(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢。


了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請登錄查閱我司官方商城 （ www.plctss.com ） 探針臺(tái)版塊。