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產(chǎn)品中心

精密型基礎(chǔ)測試探針臺

探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。

TLRH系列精密型基礎(chǔ)測試探針臺是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而特定設(shè)計的一款高精密高穩(wěn)定探針臺，其較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制，已成為包括場效應(yīng)管在內(nèi)的多端器件IV測試的理想之選。




技術(shù)優(yōu)勢：

.模塊化設(shè)計，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試；

. 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試;

.探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺精密四維調(diào)節(jié)；

. 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試；

. 滿足1μm以上電極/PAD使用;

. 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

. 探針座采用進口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動，無回程差設(shè)計;

. 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；

. 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動方式。


細節(jié)展示：


詳細模塊配置及參數(shù)說明：

名稱

型號

單位

數(shù)量

參數(shù)

探針臺臺體

MPT-H

套

1

. 底部蜂窩隔振面包板，尺寸450mm*600mm*50mm帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；

. 四維調(diào)節(jié)樣品架，XY軸行程110mm，Z軸行程10mm，整體分辨率3μm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)；

. 兩邊半圓形高穩(wěn)定性探針架，集成真空吸附開關(guān)，帶有連接標準探針卡夾具接口（探針卡單買），表面鐵磁不銹鋼材質(zhì)，拉絲鍍鉻處理，保證磁吸穩(wěn)定性的同時防止生銹。

探針座

TPLS-UP

套

3

.三維調(diào)節(jié)，整體調(diào)節(jié)精度3μm（可選配0.5μm，1μm）;

.測量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A；

.行程：XYZ行程分別13mm；

.固定方式：可調(diào)磁吸吸附；

.探針夾持角度：偏擺60°；

.配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。

顯微成像模塊

ST61套1

.三目體式顯微鏡；

.放大倍數(shù)：40.2~270倍；

.圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；

.中心距離：140mm，總高：350mm，升降范圍270mm；

.目鏡：采用高眼點超廣角目鏡，視場φ23mm；

.外置高亮無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形LED光源；

.配置顯微鏡萬向支架；

.配置高清顯示器及顯示器萬向支架；

.標配XY二維調(diào)節(jié)裝置，行程25*25mm，分辨率3um；

.可據(jù)需求選配如激光顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。

真空吸附卡盤

PVS-04

套

1

.臺面尺寸：4/6/8/12英寸可選，不銹鋼材質(zhì)；

.4英寸3個吸附孔，6/8英寸4個吸附孔，12英寸5個吸附孔；

.標配進口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩(wěn)定運行；

.搭配聚四氟材質(zhì)旋轉(zhuǎn)可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉(zhuǎn)；

.背電極設(shè)計，可引出背電極；

.吸附孔圓槽設(shè)計，增強吸附能力；

.單獨吸附孔道，獨立真空吸附開關(guān)；

.真空吸附套裝附件。

探針

PTR-03

盒

1

.鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

.鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；

.鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。


常規(guī)選型：

產(chǎn)品型號

樣品臺尺寸

樣品臺位移精度

探針座位移精度

漏電流精度

探針座數(shù)量

TLRH-04

4英寸

3μm

3μm

100fA

3個

TLRH-06

6英寸

3μm

3μm

100fA3個

TLRH-08

8英寸

3μm

3μm

100fA

3個

TLRH-12

12英寸

3μm

3μm

100fA3個


實驗附件及常規(guī)測試步驟：

光學(xué)隔振平臺(臺面>600mm*600mm)、一臺計算機(標準VGA接口和USB接口)、吉時利2400數(shù)字源表（含軟件）等。

測試時連接探針臺和數(shù)字源表，探針接被測物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面，待連接導(dǎo)通后打開源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點的I-V性能曲線。


應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產(chǎn)檢測、航空航天實驗等。


譜量光電可根據(jù)客戶實際應(yīng)用需求，定制配套探針臺系統(tǒng)，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢。


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