技術(shù)優(yōu)勢: . 結(jié)構(gòu)緊湊,功能實用,高性價比; . 樣品臺XYZR四維調(diào)節(jié),整體分辨率10μm,360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊; . 滿足1μm以上電極/PAD使用; . 兼容多種顯微鏡,可引入光路,完成光電mapping測試; . 漏電精度可達(dá)10pA/100fA(屏蔽箱內(nèi)); . 精密傳動機(jī)構(gòu),線性移動,無回程差設(shè)計; . U型探針架,可以放置多個探針座; . 整體尺寸小,方便攜帶,底部蜂窩隔振板,提高測試穩(wěn)定性。 |