探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。該探針臺系統(tǒng)包含隔振底板、探針架、高精度探針定位器、恒溫樣品臺、顯微成像模塊等。
LVHT系列恒溫加熱探針臺是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a業(yè)研發(fā)需要，而特定設計的一款高精密控溫探針臺，系統(tǒng)兼顧位移調節(jié)精度及控溫精度，實現(xiàn)測量芯片在不同溫度下的電學性能變化，廣泛應用于光電半導體等相關領域。
技術優(yōu)勢：
.模塊化設計，可以搭配不同構件完成不同測試
. 最大可用于12英寸以內樣品測試
.探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺精密四維調節(jié)
. 兼容多種光學顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試
. PID控溫，可加熱至300℃，精度±0.1℃，均勻性±5℃;
. 滿足1μm以上電極/PAD使用
. 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）
. 探針座采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計
. 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座
. 顯微鏡可二維精密調節(jié)，且可選配多種行程及驅動方式
.材料電學測試系統(tǒng)、光電探測器光電響應系統(tǒng)、光電mapping測試系統(tǒng)、憶阻器與神經元系統(tǒng)等
細節(jié)展示：
詳細模塊配置及參數(shù)說明：
名稱
型號
單位
數(shù)量
參數(shù)
探針臺臺體
MPTN-RH
套
1
. 底部蜂窩隔振面包板，帶橡膠隔振地腳，有效隔絕Z軸微振；
. 三維調節(jié)樣品架，XY軸行程110mm，Z軸行程10mm，整體分辨率3μm，360°粗調，±5°精調；
. 兩邊龍門架結構，尺寸：300mm*150mm*190mm。
探針座
TPLS-UP
選配
.三維調節(jié)，整體調節(jié)精度3μm（可選配0.5μm，1μm）;
.測量范圍：10pA/100fA(屏蔽箱環(huán)境)-10A；
.行程：XYZ行程分別13mm；
.固定方式：可調磁吸吸附；
.探針夾持角度：偏擺60°；
.配置線纜：同軸線纜（漏電精度10pA）/三同軸線纜（漏電精度100fA）。
顯微成像模塊
.放大倍數(shù)：40.2-270倍；
.圖像傳感器：2000萬像素，支持電腦控制，拍照錄像，HDMI輸出；
.中心距離：140mm，總高：350mm，升降范圍270mm；
.目鏡：采用高眼點超廣角目鏡，視場φ23mm；
.外置高亮無極調節(jié)亮度環(huán)形LED光源；
.配置顯微鏡萬向支架；
.配置高清顯示器及顯示器萬向支架；
.可選配XY二維調節(jié)裝置，行程25*25mm，分辨率3um；
.可據(jù)需求選配如電子顯微鏡、高分辨金相顯微鏡等。
真空吸附卡盤
PSL31
.臺面尺寸：4/6/8/12英寸可選，有鍍金、鋁合金、紫銅材質；
.4英寸3個吸附孔，6/8英寸4個吸附孔，12英寸5個吸附孔；
.PID控溫，可加熱至300℃，控溫精度±0.1℃；
.有效區(qū)域溫度均勻性±5℃；
.標配進口無油真空泵，吐出空氣量7L/min,長期穩(wěn)定運行；
.搭配聚四氟材質旋轉可鎖緊裝置，分離鎖緊，360°旋轉；
.背電極設計，可引出背電極；
.吸附孔獨立圓槽設計，增強吸附能力，絕緣電學分離處理；
.單獨吸附孔道，獨立真空吸附開關；
.真空吸附套裝附件。
探針
S001
盒
.鎢鋼探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.鎢鋼鍍金探針：長38mm，直徑0.5mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（1/3/5/10/30/50/150/300/500μm）；
.鍍金軟針：長51mm，可測電流范圍，1fA-1A，針尖直徑可選（5/10/30/50/125μm)。
常規(guī)選型：
產品型號
樣品臺尺寸
樣品臺位移精度
探針座位移精度
漏電流精度
LVHT-04
4英寸
3μm
100fA
LVHT-06
6英寸
LVHT-08
8英寸
LVHT-12
12英寸
實驗附件及常規(guī)測試步驟：
光學隔振平臺(臺面>600mm*600mm)、一臺計算機(標準VGA接口和USB接口)、吉時利2400數(shù)字源表（含軟件）等。
測試時連接探針臺和數(shù)字源表，探針接被測物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面，待連接導通后打開源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點的I-V性能曲線。
應用領域：
半導體材料光電檢測、功率器件測試、MEMS測試、PCB測試、液晶面板測試、測量表面電阻率測試、精密儀器生產檢測、航空航天實驗等。
譜量光電可根據(jù)客戶實際應用需求，定制配套探針臺系統(tǒng)，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢。
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