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產(chǎn)品中心

高低溫真空探針臺(tái)

探針臺(tái)又稱探針測試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測試等用途。

高低溫真空探針臺(tái)系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件因接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差，是材料學(xué)、芯片、半導(dǎo)體器件等方向?qū)嶒?yàn)分析的理想選擇。



技術(shù)優(yōu)勢：

.控溫范圍可達(dá)-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系統(tǒng)）；

. 控溫精度可達(dá)±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃;

.極限真空度優(yōu)于2Pa@機(jī)械泵，極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組；

.探針位移重復(fù)定位精度2μm，分辨率3μm，單軸直線度±2μm；

.三同軸探針夾具，漏電精度100fA，陶瓷結(jié)構(gòu);

. 樣品臺(tái)多個(gè)尺寸可選，常規(guī)有4/6/8/12英寸。


詳細(xì)模塊配置及參數(shù)說明：

名稱

型號(hào)

單位

數(shù)量

參數(shù)

真空腔體

LVTS-401

套

1

.直徑8英寸，高度7英寸的304材質(zhì)真空室
.上蓋帶4英寸石英觀察窗
.下法蘭帶固定端，與光學(xué)平臺(tái)連接
.直徑為4英寸的紫銅材質(zhì)樣品臺(tái)，平整度5μm
.1個(gè)KF40抽真空排氣口，3個(gè)CF16充氣口，1個(gè)KF16電阻規(guī)接口，1個(gè)KF16放氣口，1個(gè)KF40預(yù)留接口，1個(gè)DN63 BNC真空貫穿接口，2個(gè)冷卻液接口，4個(gè)探針座接口,2個(gè)電源接口

探針座

TPRS-UP

套

選配

.位移方向XYZ三軸,采用交叉滾柱導(dǎo)軌,產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定
.采用精密研磨絲桿M3*0.5分辨率高，配合做大手輪
.行程：X軸40mm，Y軸40mm，Z軸40mm
.分辨率3μm，重復(fù)定位精度±2μm，單軸直線度±2μm，自重1.5Kg，負(fù)載5.5Kg
.三同軸探針夾具 漏電精度100fA，接三同軸公接口，陶瓷結(jié)構(gòu)
.探針臂，采用304不銹鋼光軸，保證水平的準(zhǔn)直度和剛性
.探針臂移動(dòng)真空密封裝置，配置可壓縮50mm的焊接波紋管，保證壽命可靠運(yùn)行100萬次

.配備美國進(jìn)口三軸線纜，低漏流，高精度，滿足大部分器件測試分析。

氣浮隔振平臺(tái)

PLGZQ-60套1

.光學(xué)隔振平臺(tái)專門設(shè)計(jì)的水平減震機(jī)構(gòu)，隔振基礎(chǔ)采用二層氣囊隔離，空氣隔離器利用空氣阻尼技術(shù)在各個(gè)方向上都提供了優(yōu)異的減振性能，減振器自身的自然振動(dòng)頻率非常低，防止由瞬變干擾產(chǎn)生的搖擺

.穩(wěn)定輕松調(diào)節(jié)，穩(wěn)定可靠結(jié)構(gòu)十分緊湊
.平面度＜0.10mm/m 2
.固有頻率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz
.振幅＜1.2μm
.重復(fù)定位精度±0.05mm

顯微控制系統(tǒng)

LVTS-402

套

1

.配高清成像CCD，采用USB連接電腦 ，2000萬像素，可以拍照錄像
.控溫系統(tǒng)采用日本島電溫控儀表配置固態(tài)繼電器、熱電偶形成閉環(huán)PID控溫和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，控溫精準(zhǔn)可達(dá)到±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃
.最高溫度600℃，最低溫度-142℃
.高溫部件構(gòu)成及低溫部件構(gòu)成

真空發(fā)生系統(tǒng)

LVTS-403

盒

1

1、真空機(jī)械泵采用中韓合資型號(hào)TRP-36，9L/s抽速，自帶防返油閥門，KF25接口，KF25排氣口，配有油霧過濾器。極限真空度優(yōu)于5Pa
.配置KF40手動(dòng)真空擋板閥，波紋管密封，性能 可靠，外觀大氣，手感好；放氣閥配置KF16手動(dòng)放氣閥，體積小巧，性能可靠；所有真空管道采用不銹鋼液壓波紋管，具備很好的柔韌度，消除機(jī)械泵震動(dòng)所帶給探針臺(tái)的影響。
.真空測量配置國產(chǎn)成都睿寶電阻真空計(jì)，安裝1個(gè)全金屬KF16電阻規(guī)


2、配風(fēng)冷復(fù)合分子泵+機(jī)械泵，設(shè)備真空度在分子泵啟動(dòng)到400Hz后優(yōu)于3*10-3Pa，30分鐘以內(nèi)優(yōu)于5*10-4Pa，極限真空度3*10-5Pa。機(jī)組為可移動(dòng)臺(tái)式小車結(jié)構(gòu)，能夠滿足不同位置排氣需要。

.分子泵：JTFB-600，抽速600L/s的國產(chǎn)風(fēng)冷復(fù)合分子泵；

.機(jī)械泵：TRP-3，抽速3L/s的合資機(jī)械泵；

.復(fù)合真空計(jì)：PDF-5227，CF35電離規(guī)和KF16電阻規(guī)；

.轉(zhuǎn)接真空室：CF100—KF40，高度200mm；

配件密封件1套，3微米針尖鎢鋼探針20支，探針臂陶瓷件2個(gè)等


常規(guī)選型：

產(chǎn)品型號(hào)

樣品臺(tái)尺寸

控溫范圍

探針座位移精度

漏電流精度

LVTS-04

4英寸

-142-600℃

3μm

100fA

LVTS-06

6英寸

-142-600℃

3μm

100fA

LVTS-08

8英寸

-142-600℃

3μm

100fA

LVTS-12

12英寸

-142-600℃

3μm

100fA


測試環(huán)境：

極低溫測試、高溫?zé)o氧化測試。


測試環(huán)節(jié)：

晶圓測試過程中，溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測量。


譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng)，以達(dá)更好的測試效果及更高的性價(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢。


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